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用于實驗涂層的真空泵
真空泵通常用于實驗涂層工藝,幫助在多種類型涂層(如薄膜、太陽能電池涂層和電子設備防護涂層)的沉積過程中創建和保持真空環境。
一般而言,這些流程涉及將待涂覆的基材置于真空室中。然后使用真空泵排出真空室中的空氣和其他氣體,從而形成低壓環境。將真空室排空至所需壓力后,涂層材料會以氣體或蒸汽的形式進入真空室;真空對于保持可復制的一致條件至關重要。涂層材料粘附在基材表面,形成薄膜。
實驗涂層流程中使用不同類型的真空泵,如旋片泵、膜片泵和渦輪分子泵。每種類型的泵都有自己的優缺點,泵的選擇在很大程度上取決于真空涂層容器的尺寸和涂層流程的特定要求。
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