通過提升正常運(yùn)行時(shí)間、減少對(duì)環(huán)境的影響以及良好的成本效益，Edwards iXM 低能耗系列干式泵可為您的關(guān)鍵應(yīng)用帶來真正的制程改進(jìn)。

• ·高效的根源機(jī)制可將輸入功率減少多達(dá) 60％，從而減少對(duì)環(huán)境的影響并降低總體使用成本
• ·氣體阻隔技術(shù)和熱設(shè)計(jì)方面的改進(jìn)使產(chǎn)品的抗腐蝕性比我們之前的系列提高了四倍
• ·出色的粉塵處理功能可為多層蝕刻工藝提供高可靠性，并延長(zhǎng)真空泵使用壽命 
• ·降低 CVD 工藝的功耗
• ·緊湊輕巧的設(shè)計(jì)，加上非常低的噪聲和振動(dòng)，讓您盡享多用途的便利
• ·iXM 系列采用 XCEDE 技術(shù)，增強(qiáng)了耐腐蝕性。