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解決方案

真空泵流量的單位換算
Pa?m3/s Torr?L/s atm?cm3/s molecule/s
Pa?m3/s 1 7.500 62 9.869 23 2.651 65×1020
Torr?L/s 0.133 322 1 1.315 79 3.535 23×1019
atm?cm3/s 0.101 325 0.76 1 2.686 78×1019
molecule/s 3.771 24×10-21 2.828 67×10-20 3.721 92×10-20 1

molecule為理想氣體（0℃時的值）

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