半導體和電子行業的需求不斷增長

隔膜真空泵是一種利用隔膜的往復運動進行排氣的真空泵。

隨著近來半導體制造業和電子設備工業的快速發展，對隔膜真空泵的需求也在增加。

使用了膜片型干泵的技術！

真空排氣，真空濃縮，過濾，脫氣脫氣，真空吸盤，薄膜吸附，包裝機械，光學機械，真空鑷子，醫療機械，印刷機械等

膜片型干泵的特征

不適用油和液體的清潔真空

膜片型干泵是不使用油或液體的機械真空泵，非常適用于需要清潔環境且不受油蒸氣污染的應用。

優點 由于不使用油，可以清潔排氣

缺點 無法獲得高真空

膜片型干泵的結構

清潔構造的氣體輸送

當偏心軸（轉子）旋轉時，動力通過連桿傳遞到隔膜。

當隔膜反復上下運動時，氣體從進氣口輸送到排氣口，實現清潔排氣。另外，每個口都裝有閥門,可以一直向同一方向輸送空氣。